半导体零部件表面处理工艺—雪花清洗



    雪花清洗(液态二氧化碳清洗)是一种干式清洗方式,利用液态二氧化碳的特性和性能进行半导体零部件表面处理。在常压下,二氧化碳是一种气体,但在恒定压力下冷却并且达到临界温度时,会变成无色、无味、无毒、非易燃的液体。因此,液态二氧化碳清洗可以替代传统的有机溶剂清洗,因为它不会残留任何有机化合物或其他污染物,并且可以更加高效地去除各种表面污垢和杂物。